踏入2023年我国科技创新体系重塑明显加快了步伐，近日，各大学及科研机构、企事业单位陆续官宣全国重点实验室名单。其中，不乏传感器及仪器仪表、半导体集成电路等关键“卡脖子”领域的全国重点实验室，可见我国对相关领域的重视，对新型科研体系的渴望。

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本文，我们来看看，传感器及仪器仪表、半导体集成电路领域全国重点实验室有哪些，以及我国传感器领域的一些代表性实验室，文末附有近期官宣的全国重点实验室全名单（111所）。

(相关资料图)

北京大学-微纳电子器件与集成技术全国重点实验室

近年来，MEMS（微电子机械系统）器件的出现极大扩展了微电子学领域研究的范畴，北京大学电子学院是我国最好的微纳电子及集成电路科技研究与教育基地之一，其发展历史可以追溯到1956年由著名物理学家黄昆院士领导在北大物理系创建的我国第一个半导体专门化。

北京大学集成微纳系统研究所，拥有完整的微米/纳米加工工艺线，具备可同时开展MOS、硅基MEMS和集成化工艺技术研究的实验环境，研究内容包括MEMS陀螺仪、加速度计、射频器件、光学器件、柔性器件等一系列MEMS器件，以硅基MEMS为基础，开发了SiC MEMS、 GaN MEMS、Ti MEMS、 Parylene MEMS等一系列加工技术。

集成电路方面，北京大学在中国微电子产业的发展过程中有着辉煌的历史。在20世纪七十年代研制出我国第一块三种类型包括硅栅N沟道1K MOS DRAM，是我国微电子科学技术史上的重要里程碑之一，获全国科学大会奖，是中国最早的大规模集成电路的发源地之一。

在相关领域，北京大学拥有王阳元院士、黄如院士、吴文刚教授、张海霞教授、金玉丰教授、于晓梅教授等一批杰出专家。

电子科技大学-电子薄膜与集成器件全国重点实验室

电子薄膜与集成器件全国重点实验室由原电子薄膜与集成器件国家重点实验室改组，于2006年7月经科技部批准建设，实验室紧密结合电子信息系统微小型化和单片集成的重大需求，重点围绕电子功能材料的薄膜化和电子器件的集成化开展基础、应用基础与工程应用的研究。现任实验室学术委员会主任为雷清泉院士，实验室主任为李言荣院士。

实验室以下三个方向作为重点研究方向：⑴ 磁电薄膜与微型器件，主要解决集成器件中电磁信息的探测和传输。⑵ 功率半导体器件及集成技术，主要解决集成系统中信息的处理和执行。⑶ 电子聚合物与微结构传感器，主要解决微结构中光电信息的获取和传感。

清华大学-精密测试技术及仪器全国重点实验室

精密测试技术及仪器全国重点实验室由原精密测试技术及仪器国家重点实验室改组，由清华大学与天津大学联合共建，是1990年经国家计委批准、利用世行贷款建设的实验室。目前实验室的学科领域涵盖了“仪器科学与技术”（两校）和“光学工程”（清华）两个国家一级重点学科。实验室分为清华大学实验区和天津大学实验区。

实验室的主要研究领域和方向有：激光及光电测试技术、传感及测量信息技术、微纳制造与测试技术、制造质量控制技术。

复旦大学—集成芯片与系统全国重点实验室

集成芯片与系统全国重点实验室是科技部邂选的首批20个标杆全国重点实验室之一，依托复日大学建设，刘明院士任实验室主任。

实验室设立了主攻任务“集成芯片与系统应用”及其相关支撑任务，并把握综合性大学优势，组织集成电路、信息、计算机、物理、材料等领域学者，设立组建了集成芯片、EDA、IP/架构、先进装备、超高速电路与系统和未来芯片等6个创新中心。各中心根据自身特长，围绕“存算一体3D集成芯片”技术路线，在多芯架构、通用处理器、智能处理器、互连电路、多物理场仿真器、新一代感存算器件和2.5D/3D集成布局布线EDA等方向实践有组织科研。

西安交通大学-精密微纳制造全国重点实验室

西安交通大学拥有成立于1996年的精密工程研究所及机械制造系统工程国家重点实验室等研究机构，开展MEMS传感器与核心芯片及其系列器件、纳米计量技术与纳米器件、精密超精密加工技术及装备、精密测量技术及装备、生物检测技术及分子诊断科学仪器等方面的研究，先后承担了国家和国防各类重大重点项目及其它省部委科研项目数百项。先后获得国家技术发明二等奖3项，国家科技进步二等奖4项，省部级奖项30余项，发表论文1300余篇，授权发明专利340余项。

西安交通大学拥有蒋庄德院士、赵玉龙教授等一批长期从事微纳制造领域研究的杰出专家。

哈尔滨工程大学-水声技术全国重点实验室

水声技术全国重点实验室由原水声技术国家重点实验室改组，实验室围绕国家、国防重大科技前沿、装备研究的重大需求和制约水声技术性能的重大基础问题和技术瓶颈，探索水声技术的新原理、新方法，以创新解决水下探测和反探测的难题，带动水声物理、水声目标探测与定位、水声换能器技术、水声通信技术的发展。

水声工程技术是指利用声波进行水下探测、定位、导航、识别、通信的工程技术。它是集物理学、电子技术、信息工程、计算机技术、传感器技术等学科为一体的综合性工程。

浙江大学-极端光学技术与仪器全国重点实验室

极端光学技术与仪器研究院（以下简称研究院）成立于2022年9月，是浙江大学国际科创中心与浙江大学现代光学仪器国家重点实验室合作共建的重大科技创新平台。研究院聚焦高端光刻机系统集成以及光刻过程中的极端光学检测研究，设立皮米精度干涉检测、跨尺度缺陷检测、光刻系统在线检测、检测系统核心器件四大研究方向，致力于打造成为国家在极端光学检测技术与仪器领域的战略科技力量。其中，面向高精度检测和测量领域的应用，开展激光光源和新型检测技术的研究和应用是研究院重要研究方向。

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室围绕先进光电子技术及器件、微纳光子技术及器件、精密光学传感与检测仪器三个方向开展研究工作，坚持引领国家现代光学仪器领域和光学传感器行业发展，努力解决西方阵营在现代光学仪器领域针对我国的“卡脖子技术”问题。

东南大学-毫米波全国重点实验室

东南大学毫米波全国重点实验室依托现有的东南大学毫米波国家重点实验室重组，是二十世纪90年代初国家计委批准建设的国家重点实验室之一。实验室以“电磁场与微波技术”国家重点学科为依托。围绕国家重大战略需求和行业重大需求，开展微波、毫米波与太赫兹领域前沿基础理论和关键技术的研究，在重点研究方向上取得突破，并持续强化科技成果转化工作，涵盖“基础研究、应用基础研究、前沿技术研究和成果转化”全链条布局。近年来主要研究定位在“人工电磁材料与计算电磁学”、“毫米波器件、电路与系统”、“毫米波亚毫米波理论与技术”三大方向上，开展了深入且卓有成效的研究工作，基本确立了在微波毫米波与亚毫米波领域的引领地位，并在国际上产生了较大的影响。

毫米波与太赫兹已成为雷达、导航、安检成像、射电天文、通信等应用领域的核心技术之一，其中毫米波与太赫兹芯片将成为未来十年国内外争夺的战略高地，实验室是我国最早开始毫米波与太赫兹芯片研究与设计的单位之一。2010年，实验室洪伟教授团队牵头承担了我国第一个硅基毫米波亚毫米波集成电路的973项目，之后又得到国家重大科研仪器研发项目、国家重点研发计划等项目的支持，在毫米波太赫兹芯片领域获得了丰富的研究成果。

除以上已宣布改组/新建的全国重点实验室外，目前传感器领域国家重点实验室主要还有以下一些：

传感技术联合国家重点实验室

传感技术联合国家重点实验室经国家计委批准于1987年成立，1989年通过国家验收，是我国传感技术领域最早建立的国家重点实验室，也是目前中国传感器技术研发领域最强实验室。

实验室由南北两个基地及四个专业点组成，实验室管理办公室设在中科院上海微系统与信息技术研究所。南方基地依托单位为中科院上海微系统与信息技术研究所，北方基地依托单位为中科院电子学研究所（现中国科学院空天信息创新研究院），四个专业点分别是光传感器专业点(设在中科院上海技术物理研究所)、厚膜传感器专业点(设在中科院合肥智能机械研究所)、气敏传感器专业点(设在中科院半导体研究所)、生物传感器专业点(设在中科院微生物研究所)。

实验室的主要研究领域是以微电子技术和微纳加工技术为基础的微纳传感器及微系统。

智能传感功能材料国家重点实验室

智能传感功能材料国家重点实验室是国家科技部于2015年9月批复建设的第三批企业国家重点实验室。实验室依托有研科技集团（原北京有色金属研究总院），快速推进新一代智能传感器核心技术的研、学、产、用，建设我国智能传感领域关键材料与器件共性技术基础创新和成果转化的重要国家级平台。

实验室面向人工智能、物联网、5G通讯等领域对微纳传感器的巨大需求和传感功能材料国产化应用薄弱的现状，聚焦科学仪器、工业装备及汽车产业高端智能传感器的“卡脖子”难题，突破多种传感器用敏感材料、封装材料等系列功能材料核心共性技术，为我国新型传感功能材料、智能传感器件行业的技术进步、实现可持续发展战略奠定坚实的技术理论基础。

湖南大学-化学生物传感与计量学国家重点实验室

化学生物传感与计量学国家重点实验室（湖南大学）由国家科技部于2001年7月正式下文批准依托湖南大学边建设边开放，2002年11月通过国家科技部专家组的建设项目验收， 2004年、2009年、2014年已三次顺利通过国家科技部评估。现任学术委员会主任为中国科学院院士江桂斌院士（中国科学院生态环境研究中心），实验室主任为中国科学院院士谭蔚泓教授。

在依托单位湖南大学的大力支持下，本实验室定位于探索和发展化学生物传感的新原理，推动分析化学原始创新，为解决国家重大需求和科学前沿问题提供技术支撑 ；探索发展分子识别与探针、纳米生物学、化学生物传感、生化分析仪器、化学计量学等方向的新方法 ；解决复杂生命体系化学信息获取与重大疾病诊治的关键科学与共性技术问题 。

传感器国家工程研究中心

传感器国家工程研究中心是目前中国传感器领域最高研究机构，是中国唯一的传感器工程中心。

传感器国家工程研究中心依托沈阳仪表科学研究院于1995年正式启动建设，2002年国家计委正式批复挂牌。以提高自主创新能力、增强传感器产业核心竞争能力和发展为目标的研究开发实体，是国家传感器产业创新体系的重要组成部分，重点研究力、热、光、磁及声学、生物与生命科学、电化学、图像等传感器技术。

附：各高校全国重点实验室统计

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